1、水冷装置
真空热处理炉各个部件要根据其性来设置水冷装置，比如密封圈的不过热不烧毁部件不变形等。这样才能保证真空热处理炉能正常运行。
2、隔热材料的问题
真空热处理炉广泛采用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料，其他材料易氧化。使用前要了解炉膛的材料在进行实验
3、低电压大电流
在真空容器内，当真空空度为几托lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。在真空热处理炉内，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和损失。因此，真空热处理炉的电热元件的工作电压，般都不超过80100伏。同时在电热元件结构设计时要采取有措施，如尽量避免有尖锐的部件，电间的间距不能太小窄，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。
