真空炉通常是电加热炉，炉中的产品是由包围真空气氛包围进行处理。没有空气或其他气体可防止氧化，通过对流从产品中散失热量，并消除污染源。大多数真空炉由石墨，陶瓷或金属制成的电阻元件加热。真空炉用于执行诸如的过程退火，钎焊，烧结和热处理，具有高稠度和低污染的优势。真空炉可分为真空淬火炉、真空钎焊炉 、真空烧结炉、真空渗碳炉、真空熔炼炉等多种产品，接下来我们来看看这些真空炉及其系列产品的工作原理是什么？
真空系统工作时，先启动机械泵、维持泵和扩散泵（加热），同时打开前阀和维持泵阀，对扩散泵内进行抽真空。当真空度达到系统某设定值时，罗茨泵启 动，同时旁路阀打开，前阀关闭，此时对真空室进行抽低真空当扩散泵加热至规定温度并且真空度高于规定值时，高阀打开，旁路阀关闭，前阀打开。此时对真 空室抽高真空，达到工艺要求的真空度以后，方可进行热处理工作。热加工过程完成后，由热交换器对真空室充入高纯氮气进行强制冷却，完成整个工艺过程。
其次，在真空条件下，碳具有很强的脱氧能力，其脱氧产物CO 不断被抽至系统之外，克服了采用金属脱氧剂脱氧的污染问题。真空炉工艺可精 确地控制合金的化学成分，对于含有和氧、氮亲和力强的活性元素Al、Ti、B、Zr 等，可控制在很少的范围内。对低熔点易挥发的金属杂质，如Pb、Bi、Sn、Sb 等能蒸发去除，这对提高材料性能起到重要作用。强烈的感应搅拌作用，能加速其反应速度，这对于熔池温度均匀、化学成分均匀等方面很有果。
真空淬火炉的工作原理真空中的淬火有气淬和液淬两种。气淬行将工件在真空加热后向冷却室中充以高纯度中性气体(如氮)进行冷却。实用于气淬的有高速钢和高碳高铬钢等马氏体临界冷却速度较低的资料。液淬是将工件在加热室中加热后，移至冷却室中充入高纯氮气并立刻送入淬火油槽，疾速冷却。假如需求高的外表品质，工件真空淬火和固溶热解决后的回火和积淀软化仍应在真空炉中进行。
真空钎焊炉的工作原理是将清洗去污的工件需焊接部位涂以助焊剂铺上焊料（粉状、粒状、片状均有）放上另块需要焊合的部件（焊合面也涂上助焊剂，将两件做定位固定后装入炉内升温到焊料熔化的温度即完成焊接。它是利用炉温提升工件的温度，将熔化温度低于工件的焊料熔化，使工件得到焊接。
真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。
真空渗碳炉，也称为低压渗碳或LPC。在该设备工作原理，将气体（例如乙炔）作为分压引入热区，温度通常在1,600和1,950°F（870和1070℃）之间。气体分解成其组成元素（在这种情况下为碳和氢）。然后碳扩散到部件的表面区域中。通常重复该功能，改变气体输入的持续时间和扩散时间。旦工作负荷被适当地“装箱”，则使用油或高压气体（HPGQ）淬火金属。对于HPGQ，通常使用氮气或更快的淬火氦气。
真空感应熔炼设备是利用感应熔炼技术，通过机械结构的配套，将原理实现在实际使用中。设备通常利用电磁感应原理，将感应线圈，物料放入个密闭的腔体内部，通过真空抽气系统将容器中的气体抽出，随后，利用电源使电流通过感应线圈，产生感应电动势并在物料内部形成涡流，发热量到达定程度时，物料便开始熔化。在熔化过程中，通过设备上的其他配套组件，实现功率控制，温度测定，真空度测定，补充加料等系列操作，终通过坩埚翻转将液态金属浇注到模具中，形成成金属铸锭，完成冶炼。
工作原理是热烟气燃烧产生的热气进行使用，以火和烟管辐射传热，热浸火管和烟管介质——水吸收并产生蒸汽，蒸汽沸腾，传热转移到加热介质冷凝成水后，水的重力落回原位，再加热蒸汽。连续相变循环通过“蒸发冷凝和蒸发凝结”，将热量传递到在热交换介质的真空室的上部是以间接的方式加热;当过程达到种平衡状态，可以保持在负压状态低于当地大气压力稳定的炉中。
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