真空炉即真空热处理炉，真空炉般由主机、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统和炉外运输车等组成。
、真空炉的安装
1、参照图纸提供的真空炉平面布置、安装位置和土建条件，选好设备安装地点并进行土建施工。安装地点应无烟尘污染，环境清洁，空气干燥，不应与其他设备等放在起，保持室温10-35℃，地面平整光洁。
2、安装石墨电热元件和水冷电时，
a.拿石墨元件时要为小心，以防损坏；
b.要可靠地拧紧螺栓，以达到良好的电接触，不要用力太大，避免螺纹断扣。
3、按真空系统图将真空系统定位，组装并与炉体连接。装配时把O型密封圈涂上层薄薄的真空油脂，均匀地拧紧法兰。
4、按水冷系统图，将进水管与排水管分别接到炉子的进、排水口上，提供压力为0.1-0.15MPa，温度不低于15℃，不高于30℃的水源， 好提供循环水、防锈水。
5、提供压力 小为0.5MPa的气动气源，可用工业氮气，如用压缩空气，则自备气动“三大件”（如油雾气、减压器、分水滤气器）。
6、按回充气体系统图将管路接至回充管路上，并建议提供纯度为99.99%—99.999%的高纯度氮气作为回充气体。
7、按电气接线图把电源接到相应的电接点上，校核电源电压，连接控制箱，动力箱和炉体间的电线电缆。
8、安装其余零部件，包括导管、测量仪器仪表等。
9、炉体和控制箱均接地，接地电阻≤4欧，仪表和真空计的规管电缆也应接地。
二、真空炉调试
1、冷炉调试
A、机械、气压、电气联动调试，调整工件传送转移时间≤25S，整个联动在装载200Kg的情况下，连续动作三次应协调平稳，准确可靠。
a.真空隔热门开启或关闭行程时间调至≤8 S。
b.工件车前进至加热室行程时间调至12—15 S。
c.工件车上升或下降行程时间调至≤3 S。
d.工件车后退至冷却室行程时间调至12—15 S。
e.装载200Kg进行联动试验，总行程时间为≤25 S连续动作应协调平稳，准确可靠。
B、气冷风扇调试，转速约1400r/min,转动灵活，无异常现象。
C、报警系统调试，应准确无误，安可靠。
D、测量缘电阻大于等于20千欧。
E、测量炉子冷态真空度，压升率接近0.5Pa/h（可结合在热调试中进行）。
2、真空炉热调试
A、在炉子真空度不低于13.3Pa的情况下通电烘炉，在炉温缓慢升至1300℃的整个过程中，炉子真空度不应低于13.3Pa，经过充分烘烤 ，除气后，压升率达到技术要求时即可。
B、限真空度测量：不低于6×1.0-4Pa。
C、工作真空度测量：不低于2.7Pa（在1000空炉时）。
D、压升率测量：在真空炉加热至1200℃时，经过充分烘烤除气后，炉温冷却至100℃以下时再测压升率，应达到0.5Pa/h。
E、回充气体调试：当冷却室真空度为1.33Pa时，关闭真空隔热门、冷却室真空阀，并立即向冷却室炉充入氮气0.06MPa时，时间应在 2.5（秒）完成，并且加热室的真空度不得低于670Pa。
